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產品參數
產品優勢
1、第三方設備對接交互:與多種類型第三方設備靈活對接,自主完成交互動作。
2、晶圓盒柔性周轉:靈活搬運晶圓盒,穩定安全。
3、人、機、車隊協同作業:人、機、車相互協同高效作業。
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